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KOH腐蝕爐

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KOH腐蝕爐
簡介 : 本設備主要用于硅晶片腐蝕工藝,也可用于對其他材料的特殊工藝處理,是一種適用于長時間連續工作、高精度、高穩定性的自動控制設備。
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產品詳情

        本設備主要用于硅晶片腐蝕工藝,也可用于對其他材料的特殊工藝處理,是一種適用于長時間連續工作、高精度、高穩定性的自動控制設備。


技術指標:

晶片尺寸:          2-8英寸     

工藝片數:        1-3/籃     

提拉速度:         100mm/min   

旋轉速度:         1-30r/min         

恒溫區長度:      100mm           

位置控制精度:    ±0.3%FS(全行程)   

最高溫度:         700℃           

工作溫度:         500℃           

溫度精度:        ±1 ℃           

升溫速率:        5-8/min         

設備功率:        AC220伏,頻率50HZ,功率3.5KW

整機尺寸:        長寬高700*700*2000

產品特點:

l 采用觸摸屏+PLC控制方式,操作簡單,

l 工藝編輯和歷史數據可以進行記錄和導出,

l 可以繪制溫度實時曲線和歷史曲線;

l 升降部分采用步進電機,定位精度高;

l 旋轉部分采用步進電機,溫度均勻性更可靠

l 鎳網方便拆卸;

l 鎳網方便取晶片;

l 鎳柑鍋方便清洗;

l 雙熱歐,一路熱歐控溫加熱器,一路熱歐

巡檢柑鍋底部溫度。