本設備主要用于硅晶片腐蝕工藝，也可用于對其他材料的特殊工藝處理，是一種適用于長時間連續工作、高精度、高穩定性的自動控制設備。

技術指標：

晶片尺寸:          2-8英寸     

工藝片數：        1-3片/籃     

提拉速度:         100mm/min   

旋轉速度:         1-30r/min         

恒溫區長度：      100mm           

位置控制精度：    ±0.3%FS(全行程）   

最高溫度：         700℃           

工作溫度：         500℃           

溫度精度：        ±1 ℃           

升溫速率：        5-8℃/min         

設備功率：        AC220伏，頻率50HZ,功率3.5KW

整機尺寸：        長寬高700*700*2000

產品特點：

l 采用觸摸屏+PLC控制方式，操作簡單，

l 工藝編輯和歷史數據可以進行記錄和導出，

l 可以繪制溫度實時曲線和歷史曲線；

l 升降部分采用步進電機，定位精度高；

l 旋轉部分采用步進電機，溫度均勻性更可靠

l 鎳網方便拆卸；

l 鎳網方便取晶片；

l 鎳柑鍋方便清洗；

l 雙熱歐，一路熱歐控溫加熱器，一路熱歐

巡檢柑鍋底部溫度。