本設備主要用于硅晶片腐蝕工藝,也可用于對其他材料的特殊工藝處理,是一種適用于長時間連續工作、高精度、高穩定性的自動控制設備。
技術指標:
晶片尺寸: 2-8英寸
工藝片數: 1-3片/籃
提拉速度: 100mm/min
旋轉速度: 1-30r/min
恒溫區長度: 100mm
位置控制精度: ±0.3%FS(全行程)
最高溫度: 700℃
工作溫度: 500℃
溫度精度: ±1 ℃
升溫速率: 5-8℃/min
設備功率: AC220伏,頻率50HZ,功率3.5KW
整機尺寸: 長寬高700*700*2000
產品特點:
l 采用觸摸屏+PLC控制方式,操作簡單,
l 工藝編輯和歷史數據可以進行記錄和導出,
l 可以繪制溫度實時曲線和歷史曲線;
l 升降部分采用步進電機,定位精度高;
l 旋轉部分采用步進電機,溫度均勻性更可靠
l 鎳網方便拆卸;
l 鎳網方便取晶片;
l 鎳柑鍋方便清洗;
l 雙熱歐,一路熱歐控溫加熱器,一路熱歐
巡檢柑鍋底部溫度。