本設備主要用于SIC、ALN單晶材料的生長

簡述：

1. 采用高溫加熱，使原材料在高溫融化

2. 各操作參數可通過顯示屏控制

3. 本設備具有各種連鎖及安全保護措施，如水溫報警、過流報警等

產品特點：

l 溫度最高可達2600℃

l 旋轉速度實時顯示

l 加熱器功率實時顯示，定時采樣，顯示功率曲線

l 極限真空生長腔極限真空 ≤ 5x10 -5 pa

l 停泵關閥生長腔壓升率 ≤5pa/12h；

l 壓力控制精度：±5pa（在 100～1500Pa 范圍內

l 設備整體的控溫±1℃。