設備壓頭壓力連續可調，有高精度比例閥控制，**可達2000公斤壓力，壓頭采用氣囊方式，氣囊內壓力連續可調。壓頭下降速度可以觸摸屏設定，加熱采用進口溫控表控制，晶片內溫度公差小于3℃,加熱器在腔室外,腔室采用不繡鋼制作,可抽真空!加熱器與腔室通過膠圈密封,腔室底部有水冷,可縮短工藝結束后取片子的時間,提高工作效率!

技術指標：

        適用晶片:         4/6/8英寸                                

       溫度范圍:         室溫~200℃                       

       結構方式：       由上向下，氣缸控制，移動行程50mm

       加熱器尺寸：      Φ 230 mm                       

       真空：           真空腔室本底真空優于10Pa         

       爐門開關：        卡鉗方式                       

       溫度精度：        ±1 ℃                         

       升溫速率：        0.1-8℃/min                     

       設備功率：        AC220伏，頻率50HZ,功率3.5KW   

       整機尺寸：        1700*800*1800（長寬高）

產品特點：

氣囊軟壓頭

壓力，溫度連續可調

全自動控制，效率高

獨特加熱器設計，溫度均勻性高

機頭單獨使用