設備壓頭壓力連續可調,有高精度比例閥控制,**可達2000公斤壓力,壓頭采用氣囊方式,氣囊內壓力連續可調。壓頭下降速度可以觸摸屏設定,加熱采用進口溫控表控制,晶片內溫度公差小于3℃,加熱器在腔室外,腔室采用不繡鋼制作,可抽真空!加熱器與腔室通過膠圈密封,腔室底部有水冷,可縮短工藝結束后取片子的時間,提高工作效率!
技術指標:
適用晶片: 4/6/8英寸
溫度范圍: 室溫~200℃
結構方式: 由上向下,氣缸控制,移動行程50mm
加熱器尺寸: Φ 230 mm
真空: 真空腔室本底真空優于10Pa
爐門開關: 卡鉗方式
溫度精度: ±1 ℃
升溫速率: 0.1-8℃/min
設備功率: AC220伏,頻率50HZ,功率3.5KW
整機尺寸: 1700*800*1800(長寬高)
產品特點:
氣囊軟壓頭
壓力,溫度連續可調
全自動控制,效率高
獨特加熱器設計,溫度均勻性高
機頭單獨使用