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擴散爐

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擴散爐
簡介 : 本設備主要用于太陽能光伏行業中進行擴散,氧化等工藝。
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產品詳情

本設備主要用于太陽能光伏行業中進行擴散,氧化等工藝。

技術參數:

l 可保存多條工藝,每條工藝可設置多步

l 工藝的自動運行控制功能

l 工藝過程中可強制跳到下一步

l 工藝過程中可暫停/繼續運行等功能

l 具有良好的人機界面

l 具有歷史記錄功能

l 具有多點溫度補償

l 可根據用戶的特殊功能要求開發相應的功能

技術指標:

l 可配置工藝管外徑2-8英寸

l 可配置工藝管數量:1-4/

l 工作溫度范圍:400-1300

l 恒溫區長度:300-1200mm

l 恒溫區精度:±0.5/800-1300

l 單點溫度穩定性:±0.5/24/h

l **可控升溫速率:15/min

l **降溫速率:5/min