本設備主要用于太陽能光伏行業中進行擴散,氧化等工藝。
技術參數:
l 可保存多條工藝,每條工藝可設置多步
l 工藝的自動運行控制功能
l 工藝過程中可強制跳到下一步
l 工藝過程中可暫停/繼續運行等功能
l 具有良好的人機界面
l 具有歷史記錄功能
l 具有多點溫度補償
l 可根據用戶的特殊功能要求開發相應的功能
技術指標:
l 可配置工藝管外徑2-8英寸
l 可配置工藝管數量:1-4管/臺
l 工作溫度范圍:400-1300℃
l 恒溫區長度:300-1200mm
l 恒溫區精度:±0.5℃/(800-1300℃)
l 單點溫度穩定性:±0.5℃/24/h
l **可控升溫速率:15℃/min
l **降溫速率:5℃/min