本設備主要用于太陽能光伏行業中進行擴散，氧化等工藝。

技術參數：

l 可保存多條工藝，每條工藝可設置多步

l 工藝的自動運行控制功能

l 工藝過程中可強制跳到下一步

l 工藝過程中可暫停/繼續運行等功能

l 具有良好的人機界面

l 具有歷史記錄功能

l 具有多點溫度補償

l 可根據用戶的特殊功能要求開發相應的功能

技術指標：

l 可配置工藝管外徑2-8英寸

l 可配置工藝管數量：1-4管/臺

l 工作溫度范圍：400-1300℃

l 恒溫區長度：300-1200mm

l 恒溫區精度：±0.5℃/（800-1300℃）

l 單點溫度穩定性：±0.5℃/24/h

l **可控升溫速率:15℃/min

l **降溫速率：5℃/min