本設備主要用于SIC、ALN單晶材料的生長
1. 采用高溫加熱,使原材料在高溫融化
2. 各操作參數可通過顯示屏控制
3.本設備具有各種連鎖及安全保護措施,如水溫報警、過流報警等
產品特點:
l 溫度最高可達2600℃
l 旋轉速度實時顯示
l 加熱器功率實時顯示,定時采樣,顯示功率曲線
l 極限真空生長腔極限真空 ≤ 5x10 -5 pa
l 停泵關閥生長腔壓升率 ≤5pa/12h;
l 壓力控制精度:±5pa(在 100~1500Pa 范圍內
l 設備整體的控溫±1℃。