一、 技術要求：

1、 最高溫度1000℃，使用溫度600度，升溫速率**12℃/min

2、 爐體下方石英管露出100mm,上方露出150mm

3、 三段加熱，恒溫區長度150mm

4、 恒溫區控溫精度±1℃

5、 石英尺寸內徑70mm,壁厚4mm,外徑78mm,長度800mm

6、 上升降搖輪滾珠絲杠400mm

7、 上提拉搖輪滾珠絲杠150mm**

8、 下搖輪升降行程400mm

9、 石英管兩端膠圈密封

10、 兩路MFC進氣：

11、    N2/O2：1L/min

12、    氮氣：5L/min

13、 12 源罐材質：源管體積150ml