一、 技術要求:
1、 最高溫度1000℃,使用溫度600度,升溫速率**12℃/min
2、 爐體下方石英管露出100mm,上方露出150mm
3、 三段加熱,恒溫區長度150mm
4、 恒溫區控溫精度±1℃
5、 石英尺寸內徑70mm,壁厚4mm,外徑78mm,長度800mm
6、 上升降搖輪滾珠絲杠400mm
7、 上提拉搖輪滾珠絲杠150mm**
8、 下搖輪升降行程400mm
9、 石英管兩端膠圈密封
10、 兩路MFC進氣:
11、 N2/O2:1L/min
12、 氮氣:5L/min
13、 12 源罐材質:源管體積150ml